绝缘体上掺铒薄膜铌酸锂的片上集成波导放大器
光学
2021-01-05 v1 应用物理
摘要
我们利用光刻辅助化学机械抛光（PLACE）技术，在绝缘体上掺铒薄膜铌酸锂（TFLNOI）上制备集成光学波导，实现了片上光放大。对于长度为 3.6 cm 的波导，在峰值发射波长 1530 nm 处测得小信号增益区的最大内部净增益为 18 dB，表明单位长度差分增益为 5 dB/cm。该工作为在 TFLNOI 平台上单片集成多种有源与无源光子元件铺平了道路。
引用
@article{arxiv.2101.00783,
title = {On-chip integrated waveguide amplifiers on Erbium-doped thin film lithium niobate on insulator},
author = {Junxia Zhou and Youting Liang and Zhaoxiang Liu and Wei Chu and Haisu Zhang and Difeng Yin and Zhiwei Fang and Rongbo Wu and Jianhao Zhang and Wei Chen and Zhe Wang and Yuan Zhou and Min Wang and Ya Cheng},
journal= {arXiv preprint arXiv:2101.00783},
year = {2021}
}
备注
4 pages, 6 figures