基于人工神经网络的扫描透射电子显微镜电子光学相位像差近实时诊断
仪器与探测器
2023-01-04 v1 材料科学
光学
摘要
在最先进的扫描透射电子显微镜中优化空间分辨率的关键在于能够精确测量并校正探针形成透镜的电子光学像差。已有若干针对像差测量与校正的方法被提出，可实现最高精度与准确度，但往往以相对较长的采集时间为代价。在此，我们展示了如何利用人工智能从单张 Ronchigram 提供像差的近实时诊断。所展示的像差测量速度十分重要，因为显微镜状态可能迅速变化，且对于基于 MEMS 的硬件校正元件的运行而言亦如此，这类元件相比传统电磁透镜具有较低的内在稳定性。
引用
@article{arxiv.2204.11126,
title = {Near-real-time diagnosis of electron optical phase aberrations in scanning transmission electron microscopy using an artificial neural network},
author = {Giovanni Bertoni and Enzo Rotunno and Daan Marsmans and Peter Tiemeijer and Amir H. Tavabi and Rafal E. Dunin-Borkowski and Vincenzo Grillo},
journal= {arXiv preprint arXiv:2204.11126},
year = {2023}
}
备注
18 pages, 5 figures, 1 table