基于氦离子显微镜的纳米孔制备与表征
应用物理
2018-05-02 v1 材料科学
摘要
氦离子显微镜（HIM）由于其高度聚焦的气场电离源和小的束-样相互作用体积，能够以低至 0.35 nm 的分辨率对微小特征成像。在这项工作中，利用 HIM 的聚焦氦离子束制备直径小至 1.3 nm 的纳米孔。将展示可在氮化硅、碳纳米膜（CNMs）和石墨烯中铣削出具有明确长径比的纳米孔。为对制备的纳米孔成像和表征，使用了氦离子显微镜和高分辨率扫描透射电子显微镜。对纳米孔生长行为的分析可推断氦离子束的轮廓。
引用
@article{arxiv.1805.00292,
title = {Nanopore fabrication and characterization by helium ion microscopy},
author = {D. Emmrich and A. Beyer and A. Nadzeyka and S. Bauerdick and J. C. Meyer and J. Kotakoski and A. Gölzhäuser},
journal= {arXiv preprint arXiv:1805.00292},
year = {2018}
}