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利用扫描离子电导显微镜探测纳米孔:一项模拟研究

化学物理 2024-10-30 v1 材料科学

摘要

在薄固态纳米孔的介质击穿过程中,施加高电压可能导致单个芯片上形成多个纳米孔,其数量和尺寸对其应用至关重要。本研究通过模拟来复现利用扫描离子电导显微镜(SICM)进行原位纳米孔探测的研究。结果表明,SICM能够提供精确的纳米孔位置和相对孔径。探测分辨率受所用探针尺寸以及探针与膜之间距离的影响,在大电压或浓度梯度下分辨率可得到提升。

关键词

引用

@article{arxiv.2410.21327,
  title  = {Detection of Nanopores with the Scanning Ion Conductance Microscopy: A Simulation Study},
  author = {Yinghua Qiu and Long Ma and Zhe Liu and Hongwen Zhang and Bowen Ai and Xinman Tu},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2410.21327},
  year   = {2024}
}

备注

22 pages, 6 figuers