氦离子显微镜
材料科学
2014-02-07 v2 介观与纳米尺度物理
摘要
基于气体场离子源 (GFIS) 的氦离子显微镜 (HIM) 代表了一种新的超高分辨率显微成像和纳米加工技术。这是一项赋能技术，不仅可提供导电以及未涂层绝缘纳米结构的图像，还允许制造这些特征。后者可以通过使用抗蚀剂或由于溅射导致的材料去除来实现。通过将该方法扩展到其他气体（如氖），使得在多个长度尺度上进行近乎自由形式的结构雕刻成为可能。本文简要介绍了其基础物理原理，并对该方法的适用性进行了广泛综述。
引用
@article{arxiv.1311.1711,
title = {Helium Ion Microscopy},
author = {Gregor Hlawacek and Vasilisa Veligura and Raoul van Gastel and Bene Poelsema},
journal= {arXiv preprint arXiv:1311.1711},
year = {2014}
}
备注
Revised version