碳上及由碳形成的纳米图案
材料科学
2013-06-13 v1
摘要
我们报道了利用低能惰性离子束和碳离子束在碳薄膜和 Si(100) 表面形成纳米图案的研究。观察到碳既作为靶材又作为弹丸在纳米图案化中的作用是非常有趣的。以碳薄膜为靶材时，通过惰性 (Ar+) 和自注入 (C+) 离子轰击可形成碳纳米图案；而利用碳离子束则能以一种具有成本效益的方式形成有序良好的硅纳米波纹结构，其中注入的碳在比惰性弹丸更低的注量下对硅波纹的形成起到了重要作用。
引用
@article{arxiv.1306.2786,
title = {Nanopattern on Carbon and by Carbon},
author = {S. Bhattacharjee and P. Karmakar and V. Naik and A. K. Sinha and A. Chakrabarti},
journal= {arXiv preprint arXiv:1306.2786},
year = {2013}
}
备注
14 pages, 3 figures