离子束溅射诱导的表面纳米图案自组织

在本十年间，利用低能和中等能量离子束辐照靶材表面以产生纳米图案的技术，已在控制主要图案特征方面取得了显著进展。然而，作为系统类型和参数的函数，由该技术诱导的各种动态界面性质的类型和相关性在实验上仍存在广泛离散。与此同时，存在多种理论模型，它们在复现如此广泛的实验特征方面的能力各不相同。我们概述了关于离子束溅射产生纳米波纹和纳米点的最新研究，特别关注实验与（连续介质）模型之间的比较，并聚焦于那些仍然开放或至少模糊的问题。对于可非晶化靶材上的纳米点图案而言，这些问题可能比纳米波纹的情况更为明显，这或许是由于前者的相对新颖性所致。待考虑的图案性质是那些具有潜在重要技术价值的性质，例如纳米点尺寸随离子能量、靶材温度和溅射时间（即注量）等参数的变化，以及增强图案有序度质量的条件，其中波长粗化和有序度增强等问题变得至关重要。