纳米复合Si-C-N涂层
材料科学
2016-08-22 v1
摘要
三元纳米复合Si-C-N陶瓷涂层相较于较粗晶的单体涂层，已展现出更新且更优的力学与功能特性。Si-C-N涂层已被观察到具有高硬度、耐磨性、抗氧化性、可调带隙及化学惰性等性质，这使其具有众多应用潜力。尽管对Si-C-N涂层已进行了大量研究，但对不同参数如何影响涂层性能的恰当理解仍未解决。涂层中Si、C和N比例的变化以及随沉积条件变化而形成的物相，均需深入研究。本研究论文系统考察了不同沉积参数（如衬底温度、气压、功率）对磁控溅射沉积薄膜的形核与生长、结构、微观结构键合及力学性能的作用，这为纳米复合Si-C-N涂层的基础知识及其应用做出了重要贡献。
引用
@article{arxiv.1608.05667,
title = {Nanocomposite si-c-n coatings},
author = {A. S. Bhattacharyya},
journal= {arXiv preprint arXiv:1608.05667},
year = {2016}
}
备注
Summary of PhD thesis awarded by Department of Metallurgy and Materials Engineering, Jadavpur University, Kolkata 2009