表面溅射模型中的形态区域与斜入射点阵形成

我们利用原子级的固-固溅射侵蚀模型，研究了偏离法向的离子束溅射产生的固体表面形态。相较于早期版本的模型，我们通过引入侧向侵蚀对该模型进行了扩展。利用二维结构因子，我们在侧向离散 $\mu$ 中发现了清晰波纹形成的上限 $\mu\simeq 2$。在此上限之上，对于纵向离散 $\sigma\gtrsim 1.7$，我们发现了点阵形成的可能性（无需样品旋转）。此外，在碰撞级联参数取值相同的情况下，发现了从孔洞形貌到波纹形貌的时间渡越。最后，利用连续梯度法对粗糙度进行了标度分析，得出了两种不同形貌区域下的生长指数 $\beta=0.33$ 和 0.67。