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溅射蚀刻中纹理形成的动力学:非线性现象

凝聚态物理 2009-10-31 v1

摘要

许多溅射蚀刻表面形貌的特征由离子诱导的线性不稳定性与表面扩散之间的平衡所决定。然而,非线性项对形貌的影响鲜为人知。我们证明,虽然在短时间尺度上纹理形成可由线性理论描述,但在特征时间尺度后,非线性项将决定表面形貌,可能导致纹理的消亡或生成新的旋转纹理结构。我们指出,通过监测表面宽度和蚀刻速度,可以检测由非线性效应引起的形貌转变。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/9905328,
  title  = {Dynamics of ripple formation in sputter erosion: nonlinear phenomena},
  author = {S. Park and B. Kahng and H. Jeong and A. -L. Barabasi},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/9905328},
  year   = {2009}
}

备注

4 pages, latex, 5 PS figure files