倏逝波对薄膜生长的调制效应
应用物理
2021-10-04 v2
摘要
原子级平滑的薄膜是许多多层结构器件成功集成和正常工作的关键。然而，固有的岛状生长模式阻碍了人类实现许多重要功能材料的这种超光滑薄膜。为了解决这个问题，我们提出了一种负熵注入方法，该方法利用 evanescent waves 增强吸附原子的向下层间扩散，从而将岛状生长模式转变为逐层生长模式。我们推导了光力和降低的扩散势垒公式，并在一个简化示例上应用该理论，通过数值模拟证明了表面形貌的显著改善。
引用
@article{arxiv.2012.14209,
title = {Modulating Effect of Evanscent Waves on Thin Film Growth},
author = {Rongjing Guo and Tai-Chang Chiang and Huan-hua Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2012.14209},
year = {2021}
}
备注
It contribute a generic approach to alter intrinsic 3D growth mode to 2D growth mode using an external effect arising from evanescent waves, which is expected to remove the obstacle of intrinsic island-like growth mode from growing ultra-smooth thin films