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用于人体微功率发电的微加工多晶 SiGe 基热电堆

其他计算机科学 2008-02-22 v1

摘要

本文介绍了一种专为用于人体的热电发电机设计的多晶硅锗 (poly-SiGe) 热电堆。文中描述了单个热电偶的设计以及热电偶阵列的排列。为了提高热电偶结两端的温差,引入了一种边缘结构。对热电偶和热电堆进行了分析和数值建模。当前手表尺寸发电机的热电堆设计预期在输出电压超过 1 V 时产生约 1 μ\muW 的输出功率。测量了 poly-SiGe 的关键材料属性。热电堆已制造并经过测试。实验结果清楚地证明了边缘结构在提高输出电压方面的优势。在强制对流存在的情况下,形成边缘结构后,未释放热电堆的输出电压可从约 53 mV/K/cm2 增加到约 130 mV/K/cm2。预计工艺完成后热电堆将获得更大的输出电压。

关键词

引用

@article{arxiv.0802.3067,
  title  = {Micromachined Polycrystalline Sige-Based Thermopiles for Micropower Generation on Human Body},
  author = {Z. Wang and V. Leonov and P. Fiorini and C. Van Hoof},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0802.3067},
  year   = {2008}
}

备注

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