金属液滴对三元氮化物组分的影响
应用物理
2019-07-17 v1
摘要
我们研究了通过等离子体辅助分子束外延在低温（450 C）下生长的 InGaN 外延层中，金属液滴对 In 掺入的影响。我们发现当表面被金属液滴覆盖时，In 的掺入强烈减少。这种减少随液滴密度和液滴表面覆盖度而增加。我们通过一个模型解释这一现象，该模型考虑了液滴对 In 和 Ga 吸附原子掺入晶体的影响，同时计入了相对于 Ga 而言 In 更高迁移率的综合效应，以及液滴下通过氮直接轰击发生的气-液-固生长。所提出的模型具有一般性，可推广用于描述表面存在液滴时三元化合物材料类生长过程中吸附原子的掺入。
引用
@article{arxiv.1907.06939,
title = {Metal Droplet Effects on the Composition of Ternary Nitrides},
author = {Mani Azadmand and Stefano Vichi and Sergio Bietti and Daniel Chrastina and Emiliano Bonera and Maurizio Acciarri and Alexey Fedorov and Shiro Tsukamoto and Richard Nötzel and Stefano Sanguinetti},
journal= {arXiv preprint arXiv:1907.06939},
year = {2019}
}