使用扫描隧道显微镜在原子尺度测量磷在硅中的分散现象
凝聚态物理
2009-11-10 v1
摘要
为了在硅中利用扫描隧道显微镜（STM）和分子束外延技术制造精确的原子尺度器件,需要在硅封装过程中最小化掺杂原子的分散/扩散。我们利用secondary离子质谱（SIMS）、Auger电子 spectroscopy（AES）和STM在封装后250℃和室温下表征磷原子的表面分散/扩散。我们表明,若在室温下使用5或10层等倾硅进行封装,可将表面磷浓度降低到初始δ掺杂浓度的几 percent。我们指出了SIMS和AES确定原子尺度磷分散的局限性,以及直接使用STM的优势。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0307495,
title = {Measurement of phosphorus segregation in silicon at the atomic-scale using STM},
author = {Lars Oberbeck and Neil J. Curson and Toby Hallam and Michelle Y. Simmons and Robert G. Clark and Gerhard Bilger},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0307495},
year = {2009}
}