机械应变下磁隧道结的性能

在这项工作中，我们研究了机械应力对具有垂直磁各向异性的磁隧道结 (MTJ) 性能的影响。我们开发了一种四点弯曲装置，该装置可在大面积衬底上施加恒定应力，并能够进行电学测量和施加外部磁场。该装置使我们能够测量关键器件性能参数，如隧道磁阻 (TMR)、开关电流 ($I_c^{50\%}$) 和热稳定性 ($\Delta$) 随施加应力的变化关系。我们发现这些参数的变化可忽略不计：从零应力条件到晶圆断裂时的最大应力之间的整个测量范围内，变化小于 $\SI{2}{\percent}$。