面向蓝紫光波段的低损耗集成光子学
光学
2019-02-12 v2 应用物理
摘要
我们提出了一种在可见光和近紫外波段的低损耗集成光子学平台。基于原子层沉积(ALD)氧化铝的全刻蚀波导以单一横模工作，在 371 nm 波长处传播损耗 3 dB/cm。在 405 nm 处展示了本征品质因子超过 470,000 的环形谐振器，并且 ALD 氧化铝的热光系数估计为 [RIU/C]。吸收损耗足够低，允许腔内功率至少高达 12.5 mW 的共振工作，受限于可用激光功率。实验和模拟数据表明传播损耗由侧壁粗糙度主导，这意味着在蓝紫光波段可实现更低损耗。
引用
@article{arxiv.1808.00429,
title = {Low-loss integrated photonics for the blue and ultraviolet regime},
author = {Gavin N. West and William Loh and Dave Kharas and Cheryl Sorace-Agaskar and Karan K. Mehta and Jeremy Sage and John Chiaverini and Rajeev J. Ram},
journal= {arXiv preprint arXiv:1808.00429},
year = {2019}
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备注
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