261 nm 低损耗氧化铝波导的自由空间表征装置
光学
2026-03-26 v4 应用物理
摘要
我们提出了一种用于表征基于多晶 Al2O3 的深紫外（UV）光子集成电路（UV-PIC）的方法，工作波长为 261 nm。该平台在深紫外波段支持低损耗传播，我们展示了一种基于自由空间耦合和散射光成像的图像分析流程，用于估算波导衰减。该表征方法结合了成像系统的空间校准、背景分析和受控曝光条件，以提取沿传播方向的散射光指数衰减。初步测量表明，600 nm 宽波导的传播损耗约为 4.6 dB/cm，而更窄的波导由于散射增加和模式约束减弱而表现出更高的衰减。本工作主要记录了用于深紫外表征的实验装置和分析方法，为进一步验证和改进在深紫外波段工作的集成光子器件中传播损耗的测量奠定了基础。
引用
@article{arxiv.2506.13227,
title = {Free-Space Characterization Setup for Low-loss Aluminum Oxide Waveguides at 261 nm},
author = {Vahram Voskerchyan and Dawson Bonneville and Lantian Chang and S. M. Garcia Blanco},
journal= {arXiv preprint arXiv:2506.13227},
year = {2026}
}
备注
Updated co-author list