聚焦离子束制备的 SrTiO$_3$ 薄片的离子液体门控
材料科学
2022-06-08 v1
摘要
在这项工作中，我们结合了两种先前不兼容的器件制备技术：利用聚焦离子束（FIB）塑造三维晶体，以及二维静电载流子积累。该集成的主要挑战是任何基于 FIB 的制备所固有的纳米级表面损伤。我们通过使用牺牲保护层来保留选定的原始表面来解决此问题。此处给出的测试案例是通过离子液体门控在微米级 SrTiO 薄片表面积累二维载流子。表面质量的保持反映在积累载流子的超导电性中。该技术为在无法获得大尺寸或可剥离单晶的材料中实现静电电荷调控，以及为图案化积累载流子的几何形状开辟了新途径。
引用
@article{arxiv.2111.01063,
title = {Ionic liquid gating of SrTiO$_3$ lamellas fabricated with a focused ion beam},
author = {Evgeny Mikheev and Tino Zimmerling and Amelia Estry and Philip J. W. Moll and David Goldhaber-Gordon},
journal= {arXiv preprint arXiv:2111.01063},
year = {2022}
}