用于芯片对准反馈的红外垂直照射光电二极管
仪器与探测器
2016-09-20 v1 光学
摘要
我们报告了在格罗方德45纳米12SOI节点上制造的垂直照射光电二极管，以及一种用于光互连芯片的封装概念。这些光电二极管在1180纳米波长处有响应，该波长目前用于芯片间通信。它们还具有宽视场，这使得在芯片-电路板组装中能够实现芯片到电路板的位置反馈。单片集成使得位置数据能够在芯片上进行处理。
引用
@article{arxiv.1606.08870,
title = {Infrared vertically-illuminated photodiode for chip alignment feedback},
author = {Luca Alloatti and Rajeev Jagga Ram},
journal= {arXiv preprint arXiv:1606.08870},
year = {2016}
}
备注
7 pages, 4 figures