在硅绝缘体衬底上与纳米光子波导完全集成的垂直光学环形谐振器
光学
2015-08-11 v1
摘要
我们展示了在硅绝缘体衬底上将垂直光学环形谐振器与硅纳米光子波导完全集成，朝着三维光子集成迈出了重要一步。该片上集成是通过将二维差异应变TiO2纳米膜卷曲成纳米光子微芯片上的三维微管腔来实现的。该集成构型允许面内纳米波导与垂直微管腔之间的面外光耦合，作为一个紧凑且机械稳定的光学单元，从而能够在多层光子层的3D堆叠中实现精细的垂直光传输。在此垂直传输方案中，基于亚波长厚壁微腔展示了电信波长处光信号的谐振滤波。此外，制备了微管腔阵列，每个微管腔与多个波导集成，这为通过单个腔器件的并行和多路路由以及高通量光流体传感方案开辟了有趣的前景。
引用
@article{arxiv.1506.08551,
title = {Vertical optical ring resonators fully integrated with nanophotonic waveguides on silicon-on-insulator substrates},
author = {Abbas Madani and Moritz Kleinert and David Stolarek and Lars Zimmermann and Libo Ma and Oliver G. Schmidt},
journal= {arXiv preprint arXiv:1506.08551},
year = {2015}
}
备注
6 pages, 3 figures