微机械加工钒氧化物薄膜的红外特性
材料科学
2017-03-02 v1
摘要
本文探讨了合成与压制钒氧化物以制备可用于生产光学镀膜的成膜材料的问题。基于由此创建的成膜材料，已开发出通过两种制薄膜方法——真空蒸发与磁控溅射——来制备二氧化钒镀膜的技术工艺。文中还考虑了在光学仪器中使用钒氧化物薄膜的问题。
引用
@article{arxiv.1703.00127,
title = {Infrared properties of micromachined vanadium oxide thin films},
author = {Martin Rees and Haifei Wang and Thomas Decker and Robinson L. Smith},
journal= {arXiv preprint arXiv:1703.00127},
year = {2017}
}
备注
13 pages, 4 figures, 3 tables