基于深紫外 Al2O3 平台的混合集成近紫外激光器
光学
2025-11-24 v1 应用物理
摘要
混合集成二极管激光器迄今已利用硅、聚合物和氮化硅(Si3N4)波导平台实现,以将片上可调谐光引擎从红外扩展至整个可见光范围。在此,我们展示了首个采用氧化铝(Al2O3)深紫外兼容波导平台的混合集成激光器。通过将低损耗 Al2O3 频率可调谐游标反馈电路与 GaN 双通放大器在密封外壳中永久耦合,我们展示了首个近紫外外腔二极管激光器(ECDL)。该激光器显示出最大光纤耦合输出功率 0.74 mW,对应于片上约 3.5 mW,并在 408.1 nm 至 403.7 nm 波长范围内调谐超过 4.4 nm。将稳定、单模且可调谐的激光器集成到深紫外平台中,为芯片集成光子学应用开辟了新路径。
引用
@article{arxiv.2302.11492,
title = {Hybrid integrated near UV lasers using the deep-UV Al2O3 platform},
author = {C. A. A. Franken and W. A. P. M. Hendriks and L. V. Winkler and M. Dijkstra and A. R. do Nascimento and A. van Rees and M. R. S. Mardani and R. Dekker and J. van Kerkhof and P. J. M. van der Slot and S. M. García-Blanco and K. -J. Boller},
journal= {arXiv preprint arXiv:2302.11492},
year = {2025}
}
备注
14 pages, 3 figures