掺氮金刚石薄膜的生长速率与 EBSD 织构分析
材料科学
2008-12-23 v1
摘要
采用直流 CVD 方法，通过改变气源混合物中的氮添加量制备了化学气相沉积 (CVD) 金刚石薄膜。利用高分辨率电子背散射衍射 (HR-EBSD) 和 X 射线衍射 (XRD) 研究了氮添加对异质外延多晶金刚石薄膜晶体学织构和晶粒形貌演变的影响。分析表明，向 CH4 气流中加入 1.5% 的 N2 会强烈增强 {110} 纤维织构。本文从竞争生长选择机制的角度对该现象进行了讨论。
引用
@article{arxiv.0812.4025,
title = {Growth rate and EBSD texture analysis of nitrogen doped diamond films},
author = {T. Liu and D. Raabe},
journal= {arXiv preprint arXiv:0812.4025},
year = {2008}
}