CMOS兼容亚微米交错结构光学相位移器调制效率的完整3D模型
光学
2024-12-03 v1 信号处理
应用物理
摘要
性能优化要求对关键性能指标提供较为准确的预测模型。交错PN结结构实现最大的模式/结构重叠,是最有效的耗尽模式调制器。在其结构下,准确的建模过程必须是完全三维的,这是一项非平凡的计算问题。本文提出了一种针对硅基绝对器件交错结构光学相位调制器(亚微米尺寸)的严格3D模型。对漂移扩散方程和泊松方程在3D有限元网格上求解,并使用有限差分时域方法(FDTD)在3D Yee单元上求解麦克斯韦方程。整个建模过程均已详细阐述,模型所需的所有系数均已给出。模型验证表明,均方根误差小于10%。
引用
@article{arxiv.2412.01305,
title = {Full 3D Model of Modulation Efficiency of Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS) Compatible, Submicron, Interleaved Junction Optical Phase Shifters},
author = {Abdurrahman Javid Shaikh and Fauzi Packeer and Mirza Muhammad Ali Baig and Othman Sidek},
journal= {arXiv preprint arXiv:2412.01305},
year = {2024}
}