用于光子集成电路边耦合的 3D 模式转换器制造
光学
2024-11-26 v1 应用物理
摘要
我们演示了在锂硅烷绝缘光子平台上制造 3D 模式转换器，以实现高效边缘耦合。该 3D 模式转换器采用包含 Si 外部掩模的刻蚀工艺，以提供高度变化并通过光刻图案调节宽度变化。测量结果表明，在 1550 nm 波长下，采用 3D 模式转换器的 TE 模式边耦合效率约为 1.16 dB/facet，TM 模式约为 0.71 dB/facet。
引用
@article{arxiv.2411.16221,
title = {Fabrication of a 3D mode size converter for efficient edge coupling in photonic integrated circuits},
author = {Hyeong-Soon Jang and Hyungjun Heo and Sangin Kim and Hyeon Hwang and Hansuek Lee and Min-Kyo Seo and Hyounghan Kwon and Sang-Wook Han and Hojoong Jung},
journal= {arXiv preprint arXiv:2411.16221},
year = {2024}
}
备注
8 pages, 4 figures