通过受控刻蚀制备亚15纳米铝线
介观与纳米尺度物理
2015-06-18 v1
摘要
我们描述了一种制备直径低于15 nm的均匀铝纳米线的方法。使用电子束光刻定义窄线，然后用碳酸氢钠溶液进行刻蚀，同时原位测量其电阻。刻蚀过程可以在达到所需电阻时停止，并且可以在稍后重新开始。所得纳米线显示出与直径一致的温度和磁场依赖的超导转变。转变宽度与光刻定义的线相似，表明刻蚀过程均匀且线未受损。该技术允许精确控制常态电阻，并可用于制造各种铝纳米器件。
引用
@article{arxiv.1402.5838,
title = {Fabrication of sub-15nm aluminum wires by controlled etching},
author = {T. Morgan-Wall and H. J. Hughes and N. Hartman and T. M. McQueen and N. Markovic},
journal= {arXiv preprint arXiv:1402.5838},
year = {2015}
}
备注
4 pages, 4 figures