突破仪器横向分辨率极限的 XPS 测量实验装置

配备聚焦 X 射线束的 X 射线光电子能谱仪器的横向分辨率受限于标称 X 射线束直径和 X 射线束的长尾强度分布。X 射线束的长尾强度分布妨碍了同时实现良好横向分辨率和低检测限的测量。本文描述了两种能够对小于 X 射线束尺寸的样品结构进行观测的实验装置。第一种方法利用低能电子轰击在部分非导电样品上产生微分样品充电。非导电样品区域的谱线向较低结合能方向移动。由此，导电与非导电样品区域的表面组成得以分别估算。第二种方法利用能量分析器接受体积的相当有限的尺寸。此处仅将样品置于能量分析器接受体积内。这样，无论样品尺寸如何，被照射样品的信号都唯一地贡献于所测得的光电子强度。