循环比对：PHI XPS微探针Quantum 2000 / Quantera SXM的定量横向分辨率
仪器与探测器
2016-05-10 v1
摘要
定量横向分辨率是配备聚焦X射线束的XPS微探针质量的一项可靠度量。它描述了X射线束强度分布的长尾贡献。在判断小尺寸特征上记录的XPS谱信号来源时，了解这些长尾贡献至关重要。在本循环比对测试中，估算了7台PHI XPS微探针的定量横向分辨率。正如预期，定量横向分辨率的值显著大于标称X射线束直径。定量横向分辨率的估算值随时间呈现一种趋势：XPS微探针的单色器越新，其定量横向分辨率越好。
引用
@article{arxiv.1605.02692,
title = {Round Robin: Quantitative Lateral Resolution of PHI XPS microprobes Quantum 2000 / Quantera SXM},
author = {U. Scheithauer and M. Kolb and G. A. M. Kip and E. Naburgh and J. H. M. Snijders},
journal= {arXiv preprint arXiv:1605.02692},
year = {2016}
}
备注
7 pages, 3 figures, 1 table