XPS 微探针 Quantum 2000 初级 X 射线源的表征
仪器与探测器
2014-04-23 v1 材料科学
摘要
XPS 微探针 Quantum 2000 的突出设计特征是其 X 射线源的双聚焦椭球形石英单色器。该装置对 Al K 辐射进行单色化，并将来自 Al 阳极的 X 射线重新聚焦到样品表面。一方面，通过改变产生 X 射线的电子束直径，可以改变样品表面的 X 射线束直径；另一方面，扫描 Al 阳极上的电子束即可扫描样品表面上的 X 射线束。本文对 X 射线源进行了详细表征。测量了静电可光栅扫描区域内不同位置的初级 X 射线强度横向依赖性以及峰半高宽 (FWHM)。此外，还确定了单色器的聚焦质量。为此，估算了初级 X 射线束内低至 1% 强度水平以下的横向强度分布。
引用
@article{arxiv.1403.5076,
title = {Characterisation of the primary X-ray source of an XPS microprobe Quantum 2000},
author = {U. Scheithauer},
journal= {arXiv preprint arXiv:1403.5076},
year = {2014}
}