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INCA 放电中的电场测量

等离子体物理 2021-06-29 v1

摘要

开发大面积感应耦合等离子体源需要偏离标准线圈概念并发展先进天线设计。这方面的初步尝试采用周期阵列结构。近期一例为感应耦合阵列(INCA)放电,其利用了周期涡旋场电场中无碰撞电子加热。自然地,此类放电的效率取决于实验阵列对理论规定场设计的实现程度。本工作采用两种诊断方法测量 INCA 放电的场结构。将离位 B-dot 探针测量与在位射频调制光谱(RFMOS)进行比较,观察到两者结果良好一致。两种诊断均显示实验生成的场结构相对于 INCA 放电理论描述中所用场结构存在系统性偏差。文中讨论了应用这两种诊断方法的细节,以及对非理想电场构型可能后果的分析与改进途径。

关键词

引用

@article{arxiv.2106.14854,
  title  = {Electric field measurements on the INCA discharge},
  author = {Christian Lütke Stetzkamp and Tsanko V. Tsankov and Uwe Czarnetzki},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2106.14854},
  year   = {2021}
}