基于皮秒超声研究三层共振测量介电纳米薄膜的弹性常数
应用物理
2022-01-12 v1
摘要
纳米级薄膜的弹性常数和声速对于设计声学滤波器至关重要。然而，介电薄膜的弹性常数难以测量。在本研究中，我们采用将介电纳米薄膜夹在较厚金属薄膜之间的三层结构，以测量介电薄膜的纵向弹性常数。我们提出一个效率函数来估计各组分的最佳厚度。我们使用 Pt/NiO/Pt 三层薄膜来验证所提方法。室温下沉积的 NiO 的弹性常数比块体值小约 40。然而，随着沉积温度升高，它趋近于块体值。我们还揭示在该结构中，Pt 薄膜弹性常数的不确定性对所得 NiO 弹性常数的精度影响甚微。
引用
@article{arxiv.2201.03743,
title = {Elastic constant of dielectric nano-thin films using three-layer resonance studied by picosecond ultrasonics},
author = {Hiroki Fukuda and Akira Nagakubo and Hirotsugu Ogi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2201.03743},
year = {2022}
}