通过原子层沉积实现色散工程的高 Q 值氮化硅环形谐振器
光学
2021-03-17 v1
摘要
我们通过原子层沉积（ALD）在结构顶部沉积二氧化铪并进行保形涂层，展示了集成氮化硅环形谐振器的色散工程。反常色散的幅度和带宽均可以得到显著增加。所有结果均通过高分辨率频率梳辅助二极管激光光谱学进行了证实，并且与模式光谱的模拟修正结果非常吻合。
引用
@article{arxiv.1207.3841,
title = {Dispersion engineered high-Q silicon Nitride Ring-Resonators via Atomic Layer Deposition},
author = {Johann Riemensberger and Klaus Hartinger and Tobias Herr and Victor Brasch and Ronald Holzwarth and Tobias J. Kippenberg},
journal= {arXiv preprint arXiv:1207.3841},
year = {2021}
}
备注
4 pages, 4 figures