首个等离子蚀刻 SRF 腔的低温射频测试
加速器物理
2016-05-23 v1 原子物理
等离子体物理
摘要
等离子体蚀刻有潜力成为超导射频（SRF）腔的一种替代处理技术。我们开发了一种用于 SRF 腔内表面等离子体蚀刻的装置和方法。为测试等离子体蚀刻对腔体射频性能的影响，使用了一个 1497 MHz 单胞 SRF 腔。该单胞腔经过机械抛光，随后进行缓冲化学蚀刻，并在低温下进行射频测试作为基线测试。然后对該腔进行等离子体处理。处理通过逐步轴向移动内电极和气体流入入口以建立分段等离子体处理来完成。之后在低温下进行射频测试。给出了射频测试和表面条件的结果。
引用
@article{arxiv.1605.06494,
title = {Cryogenic rf test of the first plasma etched SRF cavity},
author = {J. Upadhyay and A. Palczewski and S. Popović and A. -M. Valente-Feliciano and D. Im and L. Phillips and L. Vušković},
journal= {arXiv preprint arXiv:1605.06494},
year = {2016}
}
备注
6 pages, 4 figures