用于碳纳米管生长兼容型超导共面谐振器的共溅射 MoRe 薄膜
介观与纳米尺度物理
2016-03-08 v1 超导电性
摘要
钼铼合金薄膜可展现高达临界温度 的超导性。同时，该薄膜在生长单壁碳纳米管通常需要的高温甲烷/氢气气氛中高度稳定。我们表征了通过双源同时溅射沉积的钼铼合金薄膜，涉及其作为溅射参数函数的组分以及低温下的电子直流与 GHz 性质。特别强调了碳纳米管生长条件对薄膜的影响。超导共面波导谐振器通过光刻定义；我们证明了这些谐振器在经历纳米管生长条件时仍保持功能，并表征了它们随温度变化的特性。这为在超导共面波导电路元件上原位生长超洁净纳米管器件铺平了道路。
引用
@article{arxiv.1510.00278,
title = {Co-sputtered MoRe thin films for carbon nanotube growth-compatible superconducting coplanar resonators},
author = {K. J. G. Götz and S. Blien and P. L. Stiller and O. Vavra and T. Mayer and T. Huber and T. N. G. Meier and M. Kronseder and Ch. Strunk and A. K. Hüttel},
journal= {arXiv preprint arXiv:1510.00278},
year = {2016}
}
备注
8 pages, 6 figures