用于纳米线单光子探测器的直流反应磁控溅射制备超导 MoN 薄膜
超导电性
2020-10-29 v2
摘要
我们展示了利用直流（DC）反应磁控溅射进行氮化钼（MoN）薄膜沉积的综合性研究。我们研究了不同沉积条件对薄膜超导与电学性质的影响。此外，我们展示了由 5 nm MoN 薄膜制成的曲折形单光子探测器在 1550 nm 通信波长下具有饱和量子探测效率。我们的结果表明，MoN 可能是一种值得关注的材料，可用于低温超导体的实际应用，包括单光子探测器与跃迁边传感器。
引用
@article{arxiv.2010.10634,
title = {Superconducting MoN thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering for nanowire single-photon detectors},
author = {Lily Hallett and Ilya Charaev and Akshay Agarwal and Andrew Dane and Marco Colangelo and Di Zhu and Karl K. Berggren},
journal= {arXiv preprint arXiv:2010.10634},
year = {2020}
}