由原子层沉积 NbN 制备的超导纳米线单光子探测器
应用物理
2020-01-08 v2 仪器与探测器
光学
摘要
通过等离子体增强原子层沉积（PEALD）技术开发了高质量的超薄氮化铌（NbN）薄膜。由该材料图案化的超导纳米线单光子探测器（SNSPDs）在 1550 nm 通信波长下展现出高开关电流和宽偏置范围内的饱和内部效率。对数百个制备器件的统计分析显示，由于薄膜极佳的均匀性，通量成品率接近一致。该 ALD-NbN 材料代表了制备兼具高效率、低抖动、低暗计数的大型单光子探测器阵列的理想超导材料。
关键词
引用
@article{arxiv.1910.07010,
title = {Superconducting nanowire single-photon detectors fabricated from atomic-layer-deposited NbN},
author = {Risheng Cheng and Sihao Wang and Hong X. Tang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1910.07010},
year = {2020}
}