基于原子层沉积氮化铌的纳米线单光子探测器
仪器与探测器
2020-04-01 v1 超导电性
摘要
我们展示并表征了首批由原子层沉积（ALD）NbN薄膜制成的超导纳米线单光子探测器（SNSPD）。为评估这些薄膜作为探测器材料的适用性，我们研究了不同尺寸和厚度的裸膜及桥结构的输运性质。由ALD和溅射NbN薄膜制成的微桥，其测量的临界电流与拆对电流之比相似。此外，我们表征了5纳米和10纳米厚纳米线探测器的单光子响应。一个宽100纳米、长5微米的直纳米线表现出饱和的计数率对偏置电流的依赖关系，以及近红外波段的截止波长。ALD技术有望实现在晶圆尺度上制造基于NbN的探测器，并能保形覆盖非平面表面，用于新颖的器件概念。
引用
@article{arxiv.1906.05214,
title = {Nanowire single-photon detectors made of atomic layer-deposited niobium nitride},
author = {Emanuel Knehr and Artem Kuzmin and Mario Ziegler and Steffen Doerner and Konstantin Ilin and Michael Siegel and Ronny Stolz and Heidemarie Schmidt},
journal= {arXiv preprint arXiv:1906.05214},
year = {2020}
}
备注
9 pages, 6 figures