在 MgO 衬底上制备的高性能 NbN 纳米线超导单光子探测器
光学
2009-11-13 v1 仪器与探测器
摘要
我们展示了在超薄 NbN 薄膜上制备的高性能纳米线超导单光子探测器 (SSPDs)，其生长温度兼容单片集成。厚度从 150 nm 到 3 nm 不等的 NbN 薄膜通过直流磁控溅射在 400°C 下沉积于 MgO 衬底上。通过研究沉积参数对薄膜性质的影响，优化了 NbN 薄膜的超导性能。在最优条件下沉积的不同厚度（7 至 3 nm）的高质量 NbN 薄膜上制备了 SSPDs。对 SSPDs 进行了电学和光学表征。在 4.2 K 下测得的最高量子效率 (QE) 值为 20%（波长 1300 nm）。
引用
@article{arxiv.0712.3295,
title = {High performance NbN nanowire superconducting single photon detectors fabricated on MgO substrates},
author = {F. Marsili and D. Bitauld and A. Fiore and A. Gaggero and F. Mattioli and R. Leoni and M. Benkahoul and F. Levy},
journal= {arXiv preprint arXiv:0712.3295},
year = {2009}
}