电磁场模拟的严格方法基准测试
光学
2009-06-11 v1 计算物理
摘要
我们开发了一个接口，允许使用模拟器JCMsuite进行严格的电磁场（EMF）模拟，随后使用模拟器Dr.LiTHO进行空中成像和抗蚀剂模拟。利用组合工具，我们研究了不同DUV掩模的近场和远场结果的收敛性。我们还对Dr.LiTHO中包含的波导方法EMF求解器和JCMsuite的有限元方法EMF求解器的结果进行了基准测试。我们展示了密集和孤立孔阵列、包含对角结构的掩模以及横向尺寸为10微米乘10微米的大型3D掩模图案的收敛结果。
引用
@article{arxiv.0906.1896,
title = {Benchmark of Rigorous Methods for Electromagnetic Field Simulations},
author = {S. Burger and L. Zschiedrich and F. Schmidt and P. Evanschitzky and A. Erdmann},
journal= {arXiv preprint arXiv:0906.1896},
year = {2009}
}
备注
12 pages, SPIE / BACUS conference Photomask Technology (2008)