基于设计值与实测特征频率的耦合微谐振器阵列制造偏差分析
介观与纳米尺度物理
2010-08-06 v1
摘要
微制造过程中的制造偏差不可避免地会改变设计结构的尺寸，进而在一定程度上影响器件的性能。充分了解这种影响有助于器件的设计和优化。在本文中，我们提出了一个解析模型来研究制造偏差对耦合微机械谐振器链中单个谐振器的影响。该模型也被反向用于根据设计值和实测频率响应来估计制造偏差的可能范围。
引用
@article{arxiv.1008.0944,
title = {Analysis of the manufacturing variation in a coupled micro resonators array based on its designed value and measured eigenfrequencies},
author = {Xueyong Wei and Nor Hayati Saad and Mike Ward},
journal= {arXiv preprint arXiv:1008.0944},
year = {2010}
}