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外延纳米晶的合金化机制

材料科学 2007-05-23 v2

摘要

本文报道了外延纳米晶合金化过程中涉及的不同机制。通过改变化学气相沉积过程中的生长条件和退火环境,研究了生长过程中的混合、表面扩散和岛内扩散。评估了每种机制在确定特定成分分布的圆顶形 Ge:Si (001) 岛中的相对重要性。对于以较快速率生长的样品,生长过程中的混合减少。在 H2_2 退火过程中,Si 表面扩散占主导,而在 PH3_3 环境中退火时,Ge 表面扩散和岛内扩散占主导。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/0701710,
  title  = {Alloying mechanisms for epitaxial nanocrystals},
  author = {M. S. Leite and G. Medeiros-Ribeiro and T. I. Kamins and R. Stanley Williams},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0701710},
  year   = {2007}
}