双隔膜结构中集成振动悬臂换能器用于差压传感
系统与控制
2012-03-13 v1
摘要
过去报道了带有振动线拾取或振动悬臂拾取的浅球壳薄金属球形隔膜的气动压力传感器。为了提高压力传感器的灵敏度，本文考虑了带有悬臂拾取的双隔膜结构。介绍了这种带有悬臂拾取的双隔膜结构压力传感器的设计与开发。几何设计经过优化，可感测单压力或差压源。两个隔膜的悬臂被激励产生振动，通过正交布置的光耦合器链路拾取信号确定振动频率。根据计算出的频率，查找表获得作用在相关隔膜上的压力。在外部电路中，计算平均压力和作用于两个隔膜上的差压。此外，还介绍了将平均压力和差压以数字和模拟形式传输到远程区域的传输电路。对所提出的机电压力传感器进行了性能分析，并展示了其相对于其他压力传感器的改进性能。
引用
@article{arxiv.1203.2506,
title = {Vibrating Cantilever Transducer Incorporated in Dual Diaphragms Structure for Sensing Differential Pneumatic Pressure},
author = {Akin Cellatoglu and Balasubramanian Karuppanan},
journal= {arXiv preprint arXiv:1203.2506},
year = {2012}
}
备注
15 pages 11 figures AIAA conference Tirunelveli, 2011