基于悬臂臂结构槽的双微环谐振器有效折射率超声传感器的数值分析
光学
2022-03-22 v1 应用物理
摘要
我们提出一种由悬臂臂结构槽双微环谐振器(DMRR)组成的新型超声传感器结构。我们利用耦合模理论给出传输的理论分析。基于Comsol多物理场(COMSOL)方法的3D仿真获得了传输谱的模态场分布与声压分布。我们的超声传感器理论灵敏度高达1462.5mV/kPa，是基于单槽微环的超声传感器的22倍。我们的超声传感器相比传统压电超声换能器具有更高灵敏度和更大检测频率范围。结果表明，通过改变声场的位置和角度可优化系统的传感特性。我们的超声传感器面积为25um*60um，在半径5um时因子约为1540。我们检测的角度范围为-90o到90o，最小距离为0.01um。最后，我们计算了悬臂臂结构槽DMRR阵列超声传感器的光学性能。我们提出的设计为水听器提供了一个有前景的候选方案。
关键词
引用
@article{arxiv.2203.10934,
title = {Numerical analysis of effective refractive index ultrasonic sensor based on Cantilever arm structure slot-based dual-micro-ring resonator},
author = {C. Y. Zhao and P. Y. Li and C. M. Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2203.10934},
year = {2022}
}
备注
11 pages,8 figures,33 references