带宽超过 60 GHz 的超快碳纳米管光电探测器
光学
2023-03-16 v2 新兴技术
应用物理
摘要
片内与片间未来的互连链路要求光电探测器具备高带宽、超宽波段、紧凑尺寸、低成本以及与硅互补金属氧化物半导体（CMOS）技术兼容的集成工艺。在此，我们展示了一种兼容 CMOS 的碳纳米管（CNT）光电探测器，基于高纯度 CNT 阵列，表现出高响应度、高带宽以及覆盖全部光通信波段的宽光谱工作特性。该超快 CNT 光电探测器实现了 100 Gbit/s 奈奎斯特整形通断键控（OOK）信号传输，可满足数据中心内部及之间高速光互连的需求。此外，通过将有源区缩小至 20 μm²，该光电探测器展现出超过 60 GHz 的带宽。由于 CNT 光电探测器采用无掺杂工艺制造，它也为将 CNT 光子器件与基于 CNT 的 CMOS 集成电路集成提供了一种经济高效的方案。我们的工作为未来基于 CNT 的高速光互连和光电集成电路（OEICs）铺平了道路。
引用
@article{arxiv.2206.12162,
title = {Ultrafast carbon nanotube photodetectors with bandwidth over 60 GHz},
author = {Weifeng Wu and Fan Yang and Xiansong Fang and Xiang Cai and Xiaohui Liu and Fan Zhang and Sheng Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2206.12162},
year = {2023}
}
备注
29 pages