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导电氧化物界面单步纳米光刻构建的量子限制结构中的隧穿

强关联电子 2016-07-19 v1 介观与纳米尺度物理

摘要

提出了一种与导电氧化物界面兼容的新纳米光刻技术,该技术仅需单次光刻步骤,无需额外的非晶层沉积或蚀刻。在SrTiO3/LaAlO3界面上展示了该技术,其中在电子液体中图案化出一个收缩结构。我们发现额外的背栅极可以进一步将电子液体限制成一个孤立的岛。电导和微分电导测量显示了通过该岛的共振隧穿。分析了不同温度和磁场下的数据,发现有效岛尺寸约为10nm。磁场依赖性表明岛中不存在自旋简并。我们的方法适用于制造基于超导和氧化物界面的电子器件。

关键词

引用

@article{arxiv.1606.09340,
  title  = {Tunneling into a quantum confinement created by a single-step nano-lithography of conducting oxide interfaces},
  author = {E. Maniv and A. Ron and M. Goldstein and A. Palevski and Y. Dagan},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1606.09340},
  year   = {2016}
}

备注

6 pages, 5 figures