直写光子结构的三维成像
光学
2011-06-14 v1
摘要
本文利用三次谐波产生显微技术分析了采用飞秒激光直写技术制备的光子结构的形貌。研究了在熔融石英和掺杂磷酸盐玻璃中直写的三维波导阵列和波导-布拉格光栅。使用无传感器自适应光学系统校正了样品和显微系统中产生的光学像差，实现了小于500 nm的横向分辨率。这种无损检测方法创建了光子器件的体积重建，并揭示了其他线性显微技术和折射率分布测量技术无法看到的细节。
关键词
引用
@article{arxiv.1009.2847,
title = {Three-dimensional imaging of direct-written photonic structures},
author = {Graham D. Marshall and Alexander Jesacher and Anisha Thayil and Michael J. Withford and Martin Booth},
journal= {arXiv preprint arXiv:1009.2847},
year = {2011}
}
备注
8 pages, 3 color figures, 2 hyper-linked animations