基于宽场时空成像的光子电路诊断与表征
光学
2020-05-12 v1 应用物理
摘要
集成光子技术的日益普及需要对大规模生产进行快速、非侵入式的质量控制技术。我们提出了一种用于光子电路亚皮秒成像的通用诊断技术，该技术结合了宽场光学显微镜与光学门控。与典型的单域技术（如频域或时域反射测量以及近场显微镜）相比，同时获取光子结构的多个参数使其能够对该结构的功能设计进行前所未有的表征。该技术的非接触与非扰动特性使其既适用于平面和三维电路，也适用于硅、聚合物或混合平台。我们将该技术应用于通过直写激光制造的不同光子芯片组件，揭示了导致损耗或偏离预期器件行为的制造缺陷的时空特征。同时，该技术允许对光子器件的关键特性进行原位探测，如导模的局域传播常数或谐振元件的品质因数。我们的方法对科学界和工业界都具有重要意义，因其非扫描特性，可扩展用于在线质量控制。
引用
@article{arxiv.2005.04392,
title = {Diagnostics and characterization of photonic circuits by wide-field spatio-temporal imaging},
author = {Dmitry Nuzhdin and Lorenzo Pattelli and Sara Nocentini and Diederik S. Wiersma},
journal= {arXiv preprint arXiv:2005.04392},
year = {2020}
}
备注
This document is the unedited Author's version of a Submitted Work that was subsequently accepted for publication in ACS Photonics, copyright \c{opyright} American Chemical Society after peer review. The final edited and published work is available at https://dx.doi.org/10.1021/acsphotonics.0c00271