Shapelets在表面自组装成像分析中的理论与应用

提出了一种用于表面自组装成像中局部图案强度和缺陷定量分析的方法，并将其应用于条纹和六方有序畴的图像。该方法使用了最初为星系图像（$\propto 10^{20}\mathrm{m}$）定量分析而开发的"shapelet"函数。在本工作中，通过将其重新表述为"可转向"滤波器，这些函数被用于量化表面自组装薄膜（$\propto 10^{-9}\mathrm{m}$）中平移有序的存在。所得方法在滤波器评估次数方面计算高效，对图案特征形状的变化具有鲁棒性，并且与先前方法不同，适用于多种图案类型。给出了该方法的一个应用，使用最近邻分析来区分成像自组装畴内的均匀（无缺陷）和非均匀（应变、含缺陷）区域，包括条纹和六方图案。