线加倍波带片的系统效率研究
材料科学
2017-05-09 v1
摘要
线加倍菲涅耳波带片提供了在多 keV X 射线范围内高效高分辨成像所需的纳米尺度、高深宽比结构。为此类光学元件的制造，通过电子束光刻产生高深宽比 HSQ 抗蚀剂模板，然后通过原子层沉积 (ALD) 覆盖 Ir。
引用
@article{arxiv.1705.02807,
title = {Systematic efficiency study of line-doubled zone plates},
author = {Felix Marschall and Joan Vila-Comamala and Vitaliy A. Guzenko and Christian David},
journal= {arXiv preprint arXiv:1705.02807},
year = {2017}
}