硬 X 射线聚焦的高效低吸收 Fresnel 复合孔板
其他计算机科学
2015-06-25 v2
摘要
圆形和线性孔板已制造于 8 keV 能量下硅晶体表面，采用电子束光刻和深离子等离子体刻蚀方法。制作了具有第一、第二、第三衍射阶的各种复合孔板变体。孔板的凹坑高度约为 10 mkm，最外层孔宽为 0.4 mkm。对孔板的实验测试在 SPring-8 和 ESRF 同步辐射源上进行。通过knife-edge扫描测量的聚焦斑点大小和衍射效率分别为 0.5 mkm 和 39%（第一阶圆形孔板）。
关键词
引用
@article{arxiv.cs/0503005,
title = {High efficiency and low absorption Fresnel compound zone plates for hard X-ray focusing},
author = {A. Kuyumchyan and A. Isoyan and E. Shulakov and V. Aristov and M. Kondratenkov and A. Snigirev and I. Snigireva and A. Souvorov and K. Tamasaku and M. Yabashi and T. Ishikawa and K. Trouni},
journal= {arXiv preprint arXiv:cs/0503005},
year = {2015}
}
备注
5 pages, 7 figures